关于爱发科茄子视频网站入口油的工作原理说明

无油干式机械爱发科茄子视频网站入口油(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式茄子视频网站入口同等量级或者接近的机械茄子视频网站入口。

目前，真空行业使用的大多数机械茄子视频网站入口都是用爱发科茄子视频网站入口油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械茄子视频网站入口及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器；其次，由于某些工艺过程中的反应物质使茄子视频网站入口内的介质严重变质，使泵不能正常工作。

对于普通的无油真空系统爱发科茄子视频网站入口油来说，虽然可用油封式茄子视频网站入口加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械茄子视频网站入口，则可以达到理想的使用效果。

爱发科茄子视频网站入口油的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械茄子视频网站入口可以满足要求；

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式茄子视频网站入口；

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。